离面型双层亚波长光栅微位移传感系统研究

• 作者: 周震 赵玉娇
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长光栅 倏逝波 微位移检测
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 光传感
• 页码范围: 39-44
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2019.12.009

摘要

随着微电子机械系统(MEMS)惯性传感器件对微位移检测精度的要求越来越高,微位移检测技术已经成为惯性传感领域的研究热点,亚波长光栅的出现为微位移测量提供了一个全新的发展前景.以离面型双层亚波长光栅位移传感系统为研究对象,分别研究了亚波长光栅等周期与不等周期时系统的位移传感特性,利用Rsoft软件对2种结构中双光栅相对运动时系统透射率与光栅位移量之间的关系以及系统关键结构参数对位移检测灵敏度的影响规律进行模拟仿真,并对2种双光栅位移传感系统进行了结构优化设计与性能仿真,理论验证了离面型双层亚波长光栅位移传感系统结构的灵活性及方案的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周震	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	26	58	4.0	7.0
2	赵玉娇	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	0	0.0	0.0