LED产业含氨含氢废气处理技术发展现状

• 作者: 刘晨明 李志强 李雅 林晓 许海青 陶莉
• 来源期刊: 环境科技
• 学科: 地球科学
• 关键词: LED行业 含氨废气 处理技术 资源化
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 污染防治
• 页码范围: 53-56,62
• 页数: 5页
• 分类号: X7
• 字数: 3795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4829.2019.02.011

摘要

LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物(MO源),必须进行无害化处理,工业上常用的方法有燃烧法、水吸收法和化学法等.由赛科康仑公司设计开发的新型LED废气资源化装置以精馏蒸氨为原理,通过参数设计、设备集成优化,一步实现废气水淋洗液被浓缩得到浓度为20％的高纯浓氨水,可进一步制成氨气或液氨返回生产工艺,氨回收率大于99％,具有占地面积小、操作弹性大、资源化效率高的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志强		15	19	3.0	3.0
2	林晓	中国科学院过程工程研究所环境技术与工程研究部绿色过程与工程重点实验室北京市过程污染控制工程技术研究中心	19	127	6.0	11.0
3	陶莉		5	0	0.0	0.0
4	刘晨明	中国科学院过程工程研究所环境技术与工程研究部绿色过程与工程重点实验室北京市过程污染控制工程技术研究中心	11	36	1.0	6.0
5	许海青		2	0	0.0	0.0