铝含量对光敏微晶玻璃介电性能的影响

• 作者: 崔竹 张浩 朱永昌 耿安东 韩勖
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 光敏微晶玻璃 介电常数 介电损耗 TGVs
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 2871-2875
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 字数: 2970字
• 语种: 中文

摘要

光敏微晶玻璃是一种新型TGVs(Through Glass Vias,玻璃通孔)转接板基板材料,介电性能的改善有助于光敏微晶玻璃在集成电路应用中的发展.实验通过熔融法制备出不同Al2O3含量的光敏微晶玻璃,并借助网络矢量分析仪、红外光谱、拉曼光谱等手段研究样品的介电常数、介电损耗以及玻璃网络结构.其中Al2O3含量为2wt％的样品具有最优的介电常数和介电损耗,分别为5.0和4.8 ×10-3(1 GHz).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔竹		18	112	6.0	10.0
2	朱永昌		19	70	5.0	7.0
3	张浩		17	12	2.0	3.0
4	韩勖		5	7	1.0	2.0
5	耿安东	西南科技大学材料科学与工程学院	4	7	1.0	2.0