结合激光准直的二维转角动态测量系统

• 作者: 刘权 楼志斌 赵辉 郑超 陶卫
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光准直 二维转角 动态测量 光斑位置
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 561-568
• 页数: 8页
• 分类号: TN249
• 字数: 3727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192703.0561

摘要

为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法.首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件.接着,设计测量系统和各组成模块,根据测量要求对系统中的关键模块进行设计和优化.然后,具体设计系统中的测量算法,完成测量模型建立.最后,在±2.范围内进行实验测试和分析.实验结果表明:系统可动态测量,稳定性好,测量重复性误差为1 μrad,X轴非线性误差为1.8％,Y轴非线性误差为1.7％,动态带载响应频率在±0.01.内优于200 Hz,基本满足二维转角测量的高精度、高重复性、高稳定性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵辉	上海交通大学仪器科学与工程系	105	1032	17.0	29.0
2	陶卫	上海交通大学仪器科学与工程系	53	563	11.0	23.0
3	楼志斌		21	97	6.0	8.0
4	郑超	上海交通大学仪器科学与工程系	7	73	4.0	7.0
5	刘权	上海交通大学仪器科学与工程系	4	4	1.0	2.0