用于流速测量的微型力传感器的研制

• 作者: 张成功 李以贵 涂云婷 金敏慧
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 六自由度(6-DOF) 力传感器 封装 流速传感器
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 992-998
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.12.008

摘要

设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装.压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传感器芯片、探测柱和封装外壳组成.基于流体的绕流阻力效应,完成了压阻式六自由度力传感器水流流速检测实验.实验证明,该传感器的量程为0～0.55 m/s,可以灵敏检测到低速水流的波动性变化,并且传感器在水流速度为0.45～0.55 m/s的测量范围内灵敏度较高.利用单晶硅材料易于小型化、滞后极小的特点,该六自由度力传感器响应快、环境适应性强、可批量制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
2	金敏慧	上海应用技术大学理学院	3	0	0.0	0.0
3	涂云婷	上海应用技术大学理学院	1	0	0.0	0.0
4	张成功	上海应用技术大学理学院	4	3	1.0	1.0