新型Ti2O3基湿敏传感器的研制

• 作者: 卡马勒·托克达尔汗 张敏 张文倩 王曼
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ti2O3 湿敏传感器 半导体
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 300-303
• 页数: 4页
• 分类号: O472+.4
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2019.02.025

摘要

本研究探索了Ti2 O3的湿敏性能,通过水热法合成Ti2 O3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征.随后将Ti2 O3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti2 O3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快.当环境湿度从11％RH(相对湿度)增至95％RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级.Ti2 O3基湿敏传感器的最大湿滞值小于2％RH,响应时间小于5.通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理.研究结果显示出Ti2 O3在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卡马勒·托克达尔汗	新疆大学物理科学与技术学院	4	8	1.0	2.0
2	张文倩	新疆大学物理科学与技术学院	1	0	0.0	0.0
3	张敏	新疆大学物理科学与技术学院	4	0	0.0	0.0
4	王曼	新疆大学物理科学与技术学院	3	0	0.0	0.0