与CMOS后端工艺高度兼容的Hf0.5Zr0.5O2铁电电容的制备和性能研究

• 作者: 刘晨 周益春 廖敏 肖文武 郑帅至
• 来源期刊: 湘潭大学学报:自然科学版
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铪薄膜 保持 疲劳 原子层沉积法
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 74-81
• 页数: 8页
• 分类号: O484.1

摘要

最近,在氧化铪薄膜材料中掺杂适量元素发现了铁电性,因为氧化铪薄膜材料与传统的钙钛矿结构铁电材料相比具有可微缩性化、较大的矫顽电场、与CMOS后端工艺高度兼容等优势,从而引起了广泛的关注.该文对应用于铁电场效应晶体管(FeFET)的存储介质Hf0.5Zr0.5O2(HZO)基铁电薄膜的制备进行了研究.采用原子层沉积法(ALD)制备HZO基铁电薄膜,研究了不同厚度(9nm、19nm、29nm)、不同顶电极(TaN、Pt),以及不同退火温度(450~750℃)对HZO铁电薄膜的铁电性能的影响.结果表明,选用TaN作为上电极,退火温度为550℃时,19nm厚氧化铪铁电薄膜表现出更加优异的铁电性能.同时,表征了HZO铁电薄膜的保持和疲劳性能,以及HZO铁电薄膜在高低温环境下的稳定性.