电子工业洁净室工艺排气检测及调试

• 作者: 张扬艺 王娟娟 章忠飞 翟传明 苏乃硕 闻义
• 来源期刊: 智能建筑与智慧城市
• 关键词: 电子工业 洁净室 排气 检测与调试
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 电气工程智能化
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-9506.2019.02.018

摘要

工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患.论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟传明	中电投工程研究检测评定中心有限公司	20	19	2.0	2.0
2	王娟娟	中电投工程研究检测评定中心有限公司	12	31	2.0	5.0
3	章忠飞		4	2	1.0	1.0
4	苏乃硕	中电投工程研究检测评定中心有限公司	3	1	1.0	1.0
5	闻义	中电投工程研究检测评定中心有限公司	3	1	1.0	1.0
6	张扬艺	中电投工程研究检测评定中心有限公司	2	1	1.0	1.0