7A04铝合金表面制备Cr/CrN复合膜的研究

• 作者: 周艳文 宋宏宇 张桐 杨利 王亚男 陈东旭
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体增强磁控溅射 Cr/CrN复合膜 组织形貌 结合力 硬度
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与冶金工程
• 页码范围: 161-167,185
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 4995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2019.03.001

摘要

利用等离子体增强非平衡磁控溅射技术,在7A04铝合金表面制备Cr/CrN的复合硬质薄膜.研究Ar、N2通量比(即FAr/FN2)和腔体压强对薄膜形貌、物相组成、膜-基结合力及硬度的影响.结果表明:利用磁控溅射技术可以在7A04铝合金表面制备出组织致密均匀且与基体结合良好的Cr/CrN复合薄膜.随FAr/FN2增大,组织生长越来越致密,晶粒形状由柱状晶逐渐向等轴晶转变,膜与基体间的结合力逐渐增大,硬度开始增加然后减小.随着腔体压强的增加,组织生长逐渐疏松,晶粒尺寸逐渐增大,对膜与基体间结合力的影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚男	辽宁科技大学材料与冶金学院	30	49	4.0	5.0
2	周艳文	辽宁科技大学材料与冶金学院	46	32	3.0	5.0
3	张桐	辽宁科技大学材料与冶金学院	3	0	0.0	0.0
4	杨利	辽宁科技大学材料与冶金学院	4	0	0.0	0.0
5	陈东旭	辽宁科技大学材料与冶金学院	11	5	2.0	2.0
6	宋宏宇		1	0	0.0	0.0