高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析

• 作者: 吴晓斌 王魁波 罗艳
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 四极质谱仪 检测限 影响因素 最小可检浓度
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器功能开发
• 页码范围: 211-218
• 页数: 8页
• 分类号: O657.63
• 字数: 4627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16495/j.1006-3757.2019.04.001

摘要

高精度四极质谱仪(QMS)的气体分压精确测量功能与其使用方法关系密切.采用包含有四极质谱仪、真空系统和进样系统的质谱参数测试装置,针对工作及系统参数对质谱测试结果的影响开展研究.试验结果表明:无论是扫描速率、质量数分辨率、电压和探测器等质谱工作参数,还是真空本底、工作真空和气体种类等系统参数都会对质谱测试结果尤其检测限产生一定影响.试验获得了特定条件下的最优参数并进行比较.采用获得的最优参数组合,通过测量空气中极低含量稀有氪气和氙气的同位素谱图,可获得一定条件下法拉第杯(FC)、二次电子倍增器(SEM)和离子计数器(CP)等3种探测器的最小可检浓度,分别为17.3×10-9、0.34×10-9和0.15×10-9.其中SEM和CP的检测限最低,适合用于微量气体分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗艳	中国科学院微电子研究所	30	414	8.0	20.0
5	吴晓斌	中国科学院微电子研究所	12	24	3.0	4.0
9	王魁波	中国科学院微电子研究所	11	20	3.0	4.0