化学气相沉积反应器共振问题研究与改善

• 作者: 陈浩
• 来源期刊: 江苏科技信息
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 托盘 旋转 共振
• 年，卷（期）: 2019,（27）
• 所属期刊栏目: 基础研究
• 页码范围: 42-44,70
• 页数: 4页
• 分类号: TQ
• 字数: 2624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7530.2019.27.011

摘要

在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振.生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量.文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈浩		43	189	8.0	12.0