针尖-样品距离对近场扫描微波显微镜 空间分辨率的影响

• 作者: 张万里 彭斌 曾慧中 鞠量 黄和
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 近场扫描微波显微镜 针尖-样品距离 空间分辨率 线宽
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 365-368
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2019.04.018

摘要

根据近场微波测试原理搭建了一套近场扫描微波显微镜系统,在不同针尖-样品距离情况下,测试了宽度分别为260μm和470μm的NiFe薄膜在宽度方向的轮廓,研究结果表明,随着针尖-样品距离的增加,测试的空间分辨率降低.通过对扫描得到的轮廓曲线进行分析,发现测试得到的薄膜线宽随针尖-样品距离的增大而线性增加.结合近场微波领域的基本理论,提出了一种获得薄膜真实线宽的测试方法,为近场扫描微波显微镜的进一步研究奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
2	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
3	曾慧中	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	50	4.0	6.0
4	鞠量	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
5	黄和	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0