基于热反射法的微纳结构热扫描技术研究

• 作者: 刘珠明 孙方远 王新伟 石宏开 郑利兵
• 来源期刊: 热科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 光热反射率 热导率 空间分辨率 抽运-探测
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 94-99
• 页数: 6页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.13738/j.issn.1671-8097.018021

摘要

随着微电子及微纳加工技术的飞速发展,电子器件的发热和热管理成为制约器件性能进一步提升的关键因素,微纳结构的热物性是电子器件热设计中最关键的参数之一,因而对微纳结构材料的热物性进行测量,对于微纳器件和材料的热设计和热优化具有极为重要的意义.基于光热反射法,利用双波长飞秒激光抽运探测热反射系统对微纳结构材料的热物性进行了测量.此外,还通过样品表面的微区热扫描,实现了对微纳结构形貌和热性质的对比和表征,并分析了系统的空间分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑利兵	中国科学院电工研究所	13	64	5.0	8.0
2	石宏开	中国科学院电工研究所	1	0	0.0	0.0
6	孙方远	中国科学院工程热物理研究所	5	0	0.0	0.0
7	刘珠明	中国科学院电工研究所	6	4	1.0	2.0