一种低使用成本的高精度曝光和测量技术

• 作者: 周畅 徐兵 朱岳彬
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 曝光 长寸 测量 光罩 精度 成本
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 210-214
• 页数: 5页
• 分类号: TP23|TH744
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2019.03.010

摘要

提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术,能够实现1.5 μm分辨率,几乎可以忽略的MASK成本.同时以曝光控制技术为基础,提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术,为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向,同时提高了国产屏的性价比,可大幅降低单点测量时间和测量成本.