造孔剂含量对树脂结合剂硅片减薄砂轮磨削性能的影响

• 作者: 丁玉龙 叶腾飞 孙冠男 张高亮 惠珍 熊华军 赵延军 赵炯
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片背面减薄砂轮 气孔率 磨纹 哈量粗糙度值
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164|TG74|TG58
• 字数: 2317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.4.0010

摘要

为改善硅片背面减薄效果,在树脂结合剂硅片减薄砂轮里添加造孔剂.通过体积密度测试、扫描电镜观察和磨削实验,研究造孔剂含量对树脂结合剂砂轮结构和磨削性能的影响.结果表明:随着造孔剂体积分数增加、投料比降低,砂轮内部孔隙率增大;且磨削实验证明造孔剂可以提高硅片的表面质量.当造孔剂添加体积分数在10％、体积密度投料比控制在75％时,树脂结合剂硅片减薄砂轮在磨削过程中具有较好的综合磨削性能,磨削出来的硅片表面粗糙度R a、R z、R y值波动范围小,与其他条件下的砂轮磨削的硅片相比,表面一致性好.