研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用

• 作者: 周海 徐晓明 朱永伟 李军 黄传锦
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镓晶体 研磨 研磨液 晶体解理
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: O786|TN305.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.14062/j.issn.0454-5648.2019.01.06

摘要

氧化镓晶体易解理,严重阻碍了研磨过程中晶体表面质量的提升.根据摩擦学原理建立边界润滑磨损模型,探索了不同研磨液在研磨过程中的作用机理.针对晶体的解理特性,依据理论模型依次采用水、油作为研磨液对氧化镓进行加工实验研究.结果表明:首先水磨,晶体表面由粗研磨产生的解理现象得到有效抑制,表面粗糙度Ra由粗研磨后的325 nm降至70 nm;然后油磨,晶体表面的微解理缺陷逐步消失,表面粗糙度Ra由水磨后的70 nm降至24 nm.该研究为易解理晶体的精研磨提供有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	南京航空航天大学机电学院	69	660	16.0	22.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院	128	1288	19.0	26.0
3	黄传锦	南京航空航天大学机电学院	24	46	5.0	5.0
5	周海	盐城工学院机械学院	123	393	10.0	14.0
6	徐晓明	盐城工学院机械学院	18	68	5.0	7.0