电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究

• 作者: 王少鑫 王智 王玉坤 陈立恒 齐克奇
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性传感器 敏感结构 电极不对称 量程
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: "空间引力波探测"专栏
• 页码范围: 455-462
• 页数: 8页
• 分类号: TH73|TH762
• 字数: 3844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191203.0455

摘要

惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制.目前国内外正在大力开展的空间引力波探测计划中,惯性传感器作为核心测量载荷主要用于屏蔽外界噪声扰动,并通过静电控制和微推进器的测量及补偿实现测试质量在空间敏感轴方向自由漂浮运动.本文以静电悬浮式惯性传感器电容结构为基础,结合系统静电力驱动控制的工作原理,并以实际的加工条件为依据,对电极不对称性这一系统自身的误差来源展开分析,通过对各种不对称情况的系统性能影响比较分析,得到电极不对称性对于系统性能,特别是量程损失的影响显著.在此基础上结合实际加工条件得出将加工线度尺寸误差控制在10μm以内,面积不对称性控制在1％～2％之间的基本要求,以降低其对系统测量范围的限制,进而提高科学目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王智	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	420	11.0	17.0
2	齐克奇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	36	3.0	5.0
3	陈立恒	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	38	311	12.0	16.0
4	王少鑫	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	9	1.0	3.0
8	王玉坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	20	2.0	4.0