980nm高功率DBR半导体激光器的设计及工艺

• 作者: 乔闯 唐吉龙 张宝顺 房丹 方铉 李翔 苏瑞巩 魏志鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 半导体激光器 分布布拉格反射器 电子束光刻 高功率
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TN365
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0701002

摘要

设计并制作了非对称大光腔波导结构,利用分布布拉格反射技术,实现了980 nm波段高功率半导体激光器的稳定输出.在实验过程中,采用电子束光刻技术,结合感应耦合等离子刻蚀工艺,利用SiO2作为硬掩模,并通过减小Ar离子的束流来减弱刻蚀过程中由于物理轰击作用对SiO2硬掩模的消耗,制作出形貌良好、周期为890 nm、占空比为50％的分布布拉格反射器光栅;采用脊型波导激光器的制作工艺,成功制作出分布布拉格反射激光器,当器件注入电流15 A时,该激光器的输出功率高达10.7 W,斜率效率为0.73 W/A,器件阈值电流为0.95 A,中心波长为979.3 nm.该研究为GaAs基DBR半导体激光器的制作与研究提供了新思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李翔	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	44	441	9.0	20.0
2	唐吉龙	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
3	房丹	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
4	苏瑞巩	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
5	张宝顺	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	13	29	3.0	5.0
6	魏志鹏	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
7	乔闯	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	1	0	0.0	0.0
8	方铉	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	1	0	0.0	0.0