工程陶瓷精密加工研磨液的研究应用现状与展望

• 作者: 张益昆 薛会民
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 研磨液 纳米金刚石 磁流变 化学机械
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 202-204,207
• 页数: 4页
• 分类号: TG175
• 语种: 中文
• DOI: 10.16576/j.cnki.1007-4414.2019.06.064

摘要

简述用于工程陶瓷精密加工的研磨液主要成分及其作用,综述了近年来国内外工程陶瓷精密加工研磨液的发展现状,通过对加工中金刚石研磨抛光液、磁流变液以及化学机械抛光液等应用的各方面特征总结,得出影响研磨液的因素有磨料和添加剂,指出工程陶瓷精密加工研磨液未来应向环保化、精细化方向发展,对工程陶瓷精密加工有深远意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛会民	河北工程大学机械与装备工程学院	17	40	4.0	5.0
2	张益昆	河北工程大学机械与装备工程学院	2	1	1.0	1.0