GaAs/AlGaAs太赫兹量子级联激光器的热分析

• 作者: 张颖娟 沈昌乐 王雪敏
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹量子级联激光器 有限元 热分析 源区温度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 184-188
• 页数: 5页
• 分类号: TN03
• 字数: 3376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201902.0184

摘要

为研究太赫兹量子级联激光器(THz QCLs)中的热传输及有效散热方法,建立了二维/三维有限元热分析模型,模拟计算了GaAs/AlGaAs THz QCLs低温工作时的温度及热流分布;并讨论了源区结构参数、热沉材料及散热膜层对器件热传输的影响规律.研究结果表明,器件源区温度水平方向分布较均匀,垂直方向温差大,源区热量主要依靠热沉导出;减小源区厚度、增加腔长与减小脊宽均有利于促进热传导并降低源区温度;在器件顶部增加AlN薄膜具有显著的辅助散热效果,当薄膜厚度大于8μm时,源区温降趋于缓慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雪敏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	16	26	4.0	5.0
2	沈昌乐	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	3	1.0	1.0
3	张颖娟	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	0	0.0	0.0