丝网印刷法制备极限电流氧传感器扩散孔的研究

• 作者: 王金霞 程楚 简家文 邹杰
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 氧传感器 流延 高温共烧陶瓷 极限电流
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)08-0011-04

摘要

为了研究采用丝网印刷法制备的小孔扩散障对极限电流氧传感器的影响,采用流延法制备8％ molY2O3稳定ZrO2 (8YSZ)膜片;通过丝网印制法制备了敏感电极和扩散障,最后通过共烧获得小孔扩散障型极限电流氧传感器.利用扫描电镜(SEM)等手段对氧传感器进行物理结构的表征,发现通过丝网印刷获得的传感器扩散障结构良好,多层对位效果良好.通过计算验证了8YSZ电导率能产生足够大的泵氧电流.进一步对传感器的气敏特性进行测试,发现传感器具有一定的饱和平台,工作温度对极限电流具有一定的影响,同时发现极限电流与氧气浓度存在正常扩散模型的线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	简家文	宁波大学信息科学与工程学院	56	235	9.0	11.0
2	王金霞		30	96	6.0	8.0
3	邹杰	宁波大学信息科学与工程学院	17	48	4.0	6.0
4	程楚	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0