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摘要:
采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层.利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,采用划痕仪、显微硬度仪、纳米压痕仪等对多层素CrN涂层与TC4钛合金的结合力和力学性能进行分析讨论.结果表明,通过调控磁控溅射基体偏压,沉积获得的多层素CrN涂层表面平整致密,截面多层结构明显可见,涂层厚度约5μm.多层素CrN涂层沿(200)、(111)面择优生长;涂层与基体结合力达69 N,其厚度450 nm处的杨氏模量和纳米硬度分别为320 GPa和25 GPa;涂层表面磨痕宽度仅为TC4钛合金的8.5%.多层素CrN涂层与TC4钛合金结合力强,适用于提高钛合金表面的硬度及耐磨损性能.
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内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名 TC4钛合金表面的多层素CrN涂层
来源期刊 辽宁科技大学学报 学科 工学
关键词 等离子体增强磁控溅射 TC4钛合金 多层素CrN涂层 结合力 力学性能
年,卷(期) 2019,(4) 所属期刊栏目 材料科学与工程
研究方向 页码范围 263-268
页数 6页 分类号 TG178
字数 3949字 语种 中文
DOI 10.13988/j.ustl.2019.04.006
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研究主题发展历程
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等离子体增强磁控溅射
TC4钛合金
多层素CrN涂层
结合力
力学性能
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
辽宁科技大学学报
双月刊
1674-1048
21-1555/TF
大16开
辽宁省鞍山市高新技术产业开发区千山路185号
1979
chi
出版文献量(篇)
2893
总下载数(次)
6
总被引数(次)
9608
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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