Mobile产品异物产生机理及改善研究

• 作者: 张志聪 李伟 杨德波 樊明雷 毕芳 熊奇 罗春 钟野
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 异物 Mobile产品 单辊摩擦 光配向 清洗机
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 748-754
• 页数: 7页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 2103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20193408.0748

摘要

异物是TFT-LCD制程常见的顽固缺陷,在高世代线(8.5代线)以摩擦工艺生产mobile产品时不良发生率更高.本文针对8.5代线生产Mobile产品时所产生的异物进行原因及机理分析,发现该异物来源于摩擦制程,产生机理为:摩擦辊在玻璃基板上摩擦时,布毛容易刮起配向膜而产生细小的PI碎屑.为此本文从摩擦强度 、单辊摩擦和光配向工艺进行实验,实验结果显示:对于改善细小的PI碎屑最优工艺为光配向,异物不良由2.34％ 降至0.41％.在最优的光配向工艺条件下继续优化清洗机条件:在高压气液混合喷射(HPMJ)的压力8 MPa、清洗机速度6600 mm/min和风刀喷淋(AK Shower)打开条件下异物不良降至0.16％,改善效果明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德波		5	3	1.0	1.0
2	李伟		5	4	1.0	2.0
3	钟野		6	6	2.0	2.0
4	罗春		3	5	2.0	2.0
5	张志聪		4	3	1.0	1.0
6	熊奇		4	2	1.0	1.0
7	樊明雷		3	0	0.0	0.0
8	毕芳		2	2	1.0	1.0