飞秒激光直写技术制备功能化微流控芯片研究进展

• 作者: 史杨 吴东 姚成立 肖轶 胡衍雷 许兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 微流控芯片 微管道 多功能应用 快速加工
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-20
• 页数: 20页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1000001

摘要

飞秒激光具有独特的超短脉宽和极高的峰值强度,飞秒激光直写技术已广泛用于功能化微流控芯片的制备.从3个方面针对基于飞秒激光直写技术的微流控芯片进行综述:不同材料微流控芯片中的飞秒激光功能器件集成技术、飞秒激光集成微流控芯片的多功能应用以及微流控芯片的高效率飞秒激光加工技术.通过对飞秒激光直写技术在微流控领域的研究结果进行总结与归纳,为飞秒激光直写技术制备微流控芯片的研究、应用及发展方向提供参考.