不同粒径CuBr对高灵敏快响应 室温NH3气体传感器的影响

• 作者: 刘志远 刘玺 刘继江 咸婉婷 杨思远 王洋洋
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 氨气传感器 溴化亚铜 粒径 灵敏度 响应/恢复时间
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 7-14
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 5381字
• 语种: 中文

摘要

采用真空热沉积法,通过Ar气体保护和调整陶瓷基底与蒸发源的距离,在陶瓷基底上制备出可室温工作的两种不同粒径大小的CuBr NH3传感器.材料表征结果显示,所制备的CuBr是平均粒径约为4μm和2μm纯相材料.对不同粒径CuBr传感器进行0.5ppm～10ppm的NH3测试,结果表明,对于10ppm的NH3,2μm粒径传感器的灵敏度比4μm粒径传感器的灵敏度高出3倍,也比一些以其它方法制备的CuBr传感器、半导体和聚合物传感器具有更高的氨气灵敏度,而且6s/25s的响应/恢复时间也比它们高2～3个数量级.2μm粒径CuBr NH3传感器的高灵敏和快响应归因于敏感材料CuBr的小粒径和多孔性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志远	中国电子科技集团公司第四十九研究所	19	133	7.0	11.0
2	刘继江	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	61	3.0	7.0
3	咸婉婷	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	16	3.0	3.0
4	王洋洋	中国电子科技集团公司第四十九研究所	14	16	2.0	3.0
5	刘玺	中国电子科技集团公司第四十九研究所	11	18	2.0	4.0
6	杨思远	中国电子科技集团公司第四十九研究所	2	0	0.0	0.0