一种利用半反半透透镜检验二次非球面的方法

• 作者: 叶璐 胡文琦 赵鹏玮 郑列华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 非球面辅助光学系统设计 三级像差理论 无像差双焦点 半反半透非球面检验
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 284-288
• 页数: 5页
• 分类号: O435.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2019.03.005

摘要

将半反半透透镜应用于非球面检验.半反半透面和待检验面作为透镜的两个面,空间上相互靠近.半反半透面实现光线自准,同时也对波前进行补偿.这样,既消除了中心遮挡,又可以减小光学系统的尺寸,同时也增强了检验的能力.根据三级像差理论对这一方法进行了推导,进而给出了从待检面的参数得到检验系统参数的方法.根据这一方法设计了一个口径300 mm,焦距1200 mm凸反射镜的检验光路,通过光学设计软件ZEMAX进行优化,优化后系统的波像差小于1/(100λ),满足光学检验的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑列华	中国科学院上海技术物理研究所	20	59	4.0	6.0
2	叶璐	中国科学院上海技术物理研究所	8	23	3.0	4.0
3	胡文琦	中国科学院上海技术物理研究所	6	11	2.0	3.0
4	赵鹏玮	中国科学院上海技术物理研究所	1	0	0.0	0.0