电容式铜掺杂氧化锌湿度传感器的特性

• 作者: 刘伟景 叶子 孙宁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式湿度传感器 纳米棒 氧化锌(ZnO) 氧空位 Freundlich模型 多层吸附理论
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 368-375
• 页数: 8页
• 分类号: TB383|TP212
• 字数: 4125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.05.006

摘要

通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行表征与测量.采用介电泳(DEP)操控技术将不同材料按照电场的分布均匀排列在叉指电极之间,制成电容式湿度传感器.测试数据表明与未掺杂ZnO样品相比,Cu掺杂ZnO样品尤其是原子数分数2％及5％Cu掺杂ZnO,具有更好的灵敏度等传感特性.Freundlich模型拟合结果表明,Cu掺杂能够有效提高材料的湿度吸附强度与容量.同时结合复阻抗频谱与多层吸附理论对传感机理进行深入讨论,结果表明适量Cu掺杂能够有效提高敏感材料中氧空位浓度,进而提供更多吸附位点,提高湿度传感特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟景	上海电力大学电子与信息工程学院	11	6	1.0	1.0
2	叶子	上海电力大学电子与信息工程学院	4	1	1.0	1.0
3	孙宁	上海电力大学电子与信息工程学院	4	1	1.0	1.0