硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器

• 作者: 宁永强 张星 杜悦宁 秦莉 陈泳屹 陈超
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 窄线宽 可调谐激光器 硅光子芯片 外腔 半导体激光器
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 229-241
• 页数: 13页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 7910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191202.0229

摘要

随着超高速光互连、相干光通信、相干检测等技术的不断发展,对激光光源的线宽、相频噪声、可调谐性和稳定性等都提出了更为严格的要求.利用基于CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺的硅光子芯片与半导体增益芯片各自的优势,将二者准单片集成实现结构紧凑、低功耗和高稳定性的窄线宽半导体激光器成为近年的研究热点.该结构可通过微环谐振器、环形反射镜和马赫曾德干涉仪等提供光反馈压窄线宽,并实现宽调谐范围和稳定功率输出.本文主要阐述了硅光子芯片外腔半导体激光器的最新研究进展,针对几种包含微环谐振器的结构进行了分类介绍,深入讨论了增加耦合效率和降低端面反射率等技术难题.针对未来空间光通信和光互连等应用前景,展望了该类激光器在功率提升和光子集成方面的未来发展方向.