扫描电镜的基本原理及应用

• 作者: 余凌竹 鲁建
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 基本原理 构造 优势 应用
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 85-93
• 页数: 9页
• 分类号: TH89
• 字数: 6187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4550.2019.05.019

摘要

扫描电镜主要用于样品微区形貌、结构及成分的观察和分析.扫描电镜具有高的分辨率、良好的景深以及简易的操作等优点,使其在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学以及微电子工业等领域有广泛的应用.该文结合多年的扫描电镜测试经验介绍了扫描电镜的基本原理、构造、优势以及在实际中的应用,为扫描电镜的初学者及从业者全面了解和使用扫描电镜提供一定的帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余凌竹	四川大学生物材料工程技术研究中心	5	31	3.0	5.0
2	鲁建	四川大学生物材料工程技术研究中心	10	119	6.0	10.0