毫米波功率计量标准器芯片的研制

• 作者: 史艳平 周哲海 李劲劲 王雪深 袁文泽 钟青
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 功率计量 毫米波 功率基准 薄膜电阻
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 329-332
• 页数: 4页
• 分类号: TB973
• 字数: 1823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.02.25

摘要

针对毫米波WR-6波段功率标准器核心芯片需求,设计了芯片整体结构,研究了结构中各层的微加工工艺,制备了温度传感用Pt薄膜,在250℃退火后,100 nm Pt薄膜的电阻温度系数(TCR)达到2.4×10-3/K,相对稳定度为2.4×10-6.安装在毫米波功率标准器上的芯片对110 ～ 170 GHz的反射率低于-23 dB.直流功率灵敏度为0.83 mΩ/mW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟青		13	23	3.0	4.0
2	周哲海	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	64	72	4.0	5.0
3	李劲劲		8	11	3.0	3.0
4	王雪深		5	4	1.0	2.0
5	袁文泽		3	1	1.0	1.0
6	史艳平	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0