胍基硅前驱体的合成及应用

• 作者: 丁玉强 季佩宇 许东升 许从应 金成刚 马潇
• 来源期刊: 应用化学
• 学科: 化学
• 关键词: 胍基 前驱体 化学气相沉积 应用
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1179-1185
• 页数: 7页
• 分类号: O627
• 字数: 4693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11944/j.issn.1000-0518.2019.10.190050

摘要

以胍基取代的二甲基二氯硅烷与胺基锂反应合成了3种硅基化合物,使用核磁共振、高分辨质谱、元素分析对化合物结构进行了表征,通过热重分析(TGA)研究了化合物的热稳定性、挥发性、蒸汽压等性能.3种化合物均具有良好的热稳定性及挥发性,无明显热分解过程,固体残留小于1％,接近纯挥发过程,最高蒸汽压在3600～5300 Pa,满足前驱体使用要求.以二甲基-胍基-甲乙胺基-硅烷为前驱体,采用螺旋波等离子体气相沉积(HWPCVD)工艺制备了硅基薄膜,使用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的化学组成和膜表面结构,XPS分析结果证实该薄膜为Si、N、C组成,实验结果表明,该类胍基硅化合物可作为硅基化学气相沉积(CVD)前驱体材料应用于集成电路制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玉强	江南大学化学与材料工程学院	34	107	6.0	9.0
2	金成刚	苏州大学物理科学与技术学院	7	25	3.0	5.0
3	马潇	江南大学化学与材料工程学院	2	8	1.0	2.0
4	许从应	江南大学化学与材料工程学院	1	0	0.0	0.0
5	许东升		1	0	0.0	0.0
6	季佩宇	苏州大学物理科学与技术学院	1	0	0.0	0.0