一种可溯源原子力探针显微镜

• 作者: 刘晓军 杨文军 胡迟
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 探针标定 可溯源 白光干涉
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 183-188
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.02.02

摘要

研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统.在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量.通过对台阶高度为(21.4± 1.5)nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21.56 nm,标准差为0.51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	杨文军	华中科技大学机械科学与工程学院	4	10	2.0	3.0
3	胡迟	华中科技大学机械科学与工程学院	1	2	1.0	1.0