容栅式微小位移传感器边缘效应研究

• 作者: 李新娥 杜红棉 杨伟艺 王睿 闵希凯
• 来源期刊: 兵器装备工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 容栅 微小位移测量 边缘效应 ANSYS Electronics Desktop
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 机械制造与检测技术
• 页码范围: 173-177
• 页数: 5页
• 分类号: TP206+.1
• 字数: 2896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11809/bqzbgcxb2019.09.036

摘要

针对微小位移测量难度大、测试环境空间狭小传感器安装受限,设计了基于容栅传感原理的微小位移传感器.针对容栅传感器存在边缘效应问题,利用ANSYS Electronics Desktop仿真软件,对栅条宽度、栅条间距、栅条宽度与间距比以及传感器结构等影响边缘效应的因素进行仿真分析.依据仿真结果对容栅传感器进行优化设计并进行测试.测试结果分析表明,选择最简梳状结构、减小栅极间距和栅条间距、增大栅条宽度,可以最大程度减小容栅传感器的边缘效应,增加等位环可消除边缘效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新娥	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	85	474	12.0	18.0
2	杜红棉	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	51	291	10.0	15.0
3	王睿	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	11	1.0	3.0
4	杨伟艺	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	闵希凯	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0