耐腐蚀高精度光电透射式液位测量仪设计

• 作者: 卢丽 尹斌军 廖飞 张超群 李岭 杨鑫 梁霄 龚恒翔
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 液位测量 光电传感器 气相沉积制备设备 耐腐蚀 FPGA
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 38-42,47
• 页数: 6页
• 分类号: TH865|TP216
• 字数: 3402字
• 语种: 中文

摘要

为解决气相沉积法制备材料过程中腐蚀性液体液位测量问题,基于液柱透镜成像原理,设计了高精度耐腐蚀的光电透射式液位测量仪.论文给出了液位测量仪的基本工作原理及结构设计、重点分析了液位特征提取算法的设计和实现过程.设计的液位测量仪能够满足透明、半透明、不透明液体的液位测量.实验结果表明,液位特征提取算法能准确识别液滴、液滴串、气泡段等异常影响.液位测量仪能在溶液结晶等较复杂工况下正常工作,并且其测量分辨率达3.5μm,静态测量误差小于0.02 mm,单个测量头量程为52.5 mm,有较好稳定性,非接触式测量,耐腐蚀,可小型化,能够满足较高精度液位测量需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚恒翔	重庆理工大学理学院	27	72	5.0	7.0
2	杨鑫	重庆理工大学理学院	7	6	2.0	2.0
3	廖飞	重庆理工大学理学院	10	8	2.0	2.0
4	梁霄	重庆理工大学理学院	13	22	2.0	4.0
5	尹斌军	重庆理工大学理学院	2	2	1.0	1.0
6	张超群	重庆理工大学理学院	1	0	0.0	0.0
7	李岭	重庆理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
8	卢丽	重庆理工大学理学院	1	0	0.0	0.0