基于BL0939的天线效应分析

• 作者: 王锁成
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路设计 天线效应 天线比率 反偏二极管 深亚微米
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TN402|TN432
• 字数: 1619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2019.10.005

摘要

随着半导体工艺技术的发展,栅的特征尺寸越来越小,然而金属走线却越来越长,这就造成了与之相关的天线效应(PAE)越来越显著.分析在芯片制造过程中产生天线效应的原因,并在此基础上提出了四种消除天线效应的方法.其方法应用于BL0939的后端设计,证明了它的切实可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锁成		1	0	0.0	0.0