单晶圆擦洗技术及优化方案的研究

• 作者: 夏楠君 王勇威 王文丽 祝福生 赵宝君 黄鑫亮
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶圆 擦洗 优化
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN41
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2019.06.005

摘要

本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宝君	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	2	1.0	1.0
2	祝福生	中国电子科技集团公司第四十五研究所	15	29	3.0	5.0
3	王文丽	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	9	2.0	3.0
4	夏楠君	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	11	2.0	3.0
5	黄鑫亮	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	2	1.0	1.0
6	王勇威	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	0	0.0	0.0