激光增强CVD法制备柱状晶结构锆酸镧涂层及其性能研究

• 作者: 乔自平 袁点 韦志俊
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光增强化学气相沉积 锆酸镧 热障涂层
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 1639-1644
• 页数: 6页
• 分类号: TQ133.3
• 字数: 3013字
• 语种: 中文

摘要

使用La(dpm)3和Zr(dpm)4为前驱体,氧气为反应气体,通过激光增强化学气相沉积法制备了烧绿石结构的锆酸镧(LZ)涂层.研究了激光功率、以及前驱体比例对锆酸镧涂层的形貌、晶形、生长取向、沉积速率以及热导率的影响.在优化激光功率的基础上,通过改变前驱体比例La(dpm)3/Zr(dpm)4,确定了LZ的二元形成区,获得了La/Zr=0.75～1.5比例范围内成分可控的LZ单相样品.随着前驱体La(dpm)3/Zr(dpm)4比例的增加,La逐渐取代锆酸镧结构中的Zr,引起晶面间距的减少,导致XRD峰位向小角度方向偏移.研究表明,该方法制得的LZ涂层的热导率可低至0.936 W/(m·K),适用于热障涂层及其他高温隔热场合.