复合光纤马赫-曾德尔外差干涉位移在线测量系统

• 作者: 徐海波 李明佳 王韵致 谢芳 陈龙辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光纤传感 在线测量 外差干涉测量 位移测量
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 186-190
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0904007

摘要

研究了一种复合光纤马赫-曾德尔外差干涉测量系统,并采用该系统对位移进行在线测量.基于光纤光栅只反射布拉格波长的特性,构建了两个独立但光程几乎重合的光纤马赫-曾德尔干涉仪.其中的一个马赫增德尔干涉仪用于完成测量工作,另一个马赫-曾德尔干涉仪用于监测环境干扰,补偿环境干扰对测量结果的影响,使测量系统适合用于在线测量.位于马赫-曾德尔干涉仪参考臂的声光调制器组可对参考光进行移频,当参考光与测量光会合时形成外差干涉信号,实现外差干涉测量.实验中,该系统对100 μm位移进行10次重复测量的标准差为6 nm.