皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃

• 作者: 刘朋 徐新科 杨泽齐 段军 陈乔丹 陈航
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 化学强化玻璃 皮秒激光 贝塞尔光束 玻璃切割
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 153-158
• 页数: 6页
• 分类号: TN24
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1102010

摘要

化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工.利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果.实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距.