金属粉末增强机械抛光单晶金刚石

• 作者: 刘浩 孙占峰 徐锴 李佳君 李震睿 陈广超 陈正佳
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶金刚石 热化学抛光 金属粉末 抛光速率 粗糙度 催化活性
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 321-326
• 页数: 6页
• 分类号: TG356.28
• 字数: 3628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.09.039

摘要

目的 研究具有催化活性的镍、钴金属粉末对单晶金刚石机械抛光的影响,以期获得低成本高效率的单晶金刚石抛光工艺.方法 以高温高压法(HPHT)制备的Ⅱa型单晶金刚石为样品,采用机械抛光的方法沿单晶金刚石(100)晶面的[100]晶向进行抛光,抛光介质分别为金刚石研磨膏、金刚石微粉、金刚石微粉与镍粉混合粉末、金刚石微粉与钴粉混合粉末.样品表面粗糙度通过原子力显微镜(AFM)进行测定,通过扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)对样品表面形貌及元素成分进行分析表征.结果 金刚石微粉作研磨粉时,抛光速率最高,达到900μm/h,但表面粗糙度相对较差,为4.15 nm;镍粉或钴粉与金刚石微粉的混合粉末作抛光介质时,可以实现单晶金刚石的高效抛光,其中以钴粉与金刚石微粉的混合粉末作为抛光介质时的抛光效果最佳,抛光速率为875μm/h时,表面粗糙度为1.52 nm.结论镍、钴金属粉末与金刚石微粉混合作为抛光粉料,可以实现单晶金刚石的高效率、高质量抛光.