基于总散射测量的表面质量检测新方法

• 作者: 孙年春 张彬 张科鹏 王翔 赵建华 陈坚 黄聪
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 散射 疵病检测 表面疵病 散射光 疵病阈值
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 142-149
• 页数: 8页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201939.0712005

摘要

光学元件在加工及使用过程中引入的麻点或擦痕会严重影响其表面质量.基于Peterson疵病散射理论,将麻点或擦痕引起的散射光分为两部分,即对麻点(或擦痕)内部表面的散射光作漫反射分析,对麻点或擦痕外围轮廓引起的散射光作衍射分析.进一步考虑麻点和擦痕的挡光效应,以及麻点衍射消失的边界条件,通过将疵病散射理论与国家标准GB/T 1185-2006相结合,推导出麻点、擦痕的双向反射分布函数的解析表达式,进而分析了不同疵病级数下的角分辨散射和总散射.研究结果表明:表面疵病的总散射与疵病面积近似成线性正比,进而据此提出了一种基于总散射测量的表面质量检测新方法,并分析了光学元件表面疵病的阈值.