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摘要:
采用正交实验的方法对碱各向异性腐蚀制备单晶硅绒面进行了优化,制备的硅片样品绒面反射率为1107%,在表面沉积减反射膜(ARC)后的平均反射率为2.56%.制绒液中NaOH的质量分数为1%~3%时,制备的单晶硅绒面反射率较低.Na2SiO3的存在为反应提供了更多的起始点,所制作的绒面排列更为紧密.IPA可以加速反应产生的氢气泡从硅片表面逃逸,减弱NaOH的腐蚀强度,获得良好的各向异性因子.随着制绒反应时间延长,硅片表面的金字塔长大,反射率降低,这个过程是金字塔不断长大和被削平的过程.常温下难以制得绒面,要在减少醇挥发的情况下尽量提高反应温度.
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文献信息
篇名 太阳能电池单晶硅表面织构化正交实验
来源期刊 房地产导刊 学科 工学
关键词 单晶硅 表面织构化 实验
年,卷(期) 2019,(29) 所属期刊栏目 水利电力
研究方向 页码范围 162
页数 1页 分类号 TM914.4
字数 2279字 语种 中文
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单晶硅
表面织构化
实验
研究起点
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期刊影响力
房地产导刊
旬刊
1009-4563
44-1486/F
大16开
广东省广州市
46-233
2000
chi
出版文献量(篇)
72794
总下载数(次)
135
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