基于微环辅助的M-Z温度传感器

• 作者: 万静 呙明贤 孙枫 王兆松 苗江云
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 物理学
• 关键词: 微流控技术 温度传感器 马赫-曾德尔滤波器 微环谐振腔
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件研究与应用
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3569字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13756/j.gtxyj.2020.01.007

摘要

针对普通马赫-曾德尔(M-Z)滤波器为了获得良好的滤波性能需要mm量级的臂长差的问题,文章提出了一种基于微环辅助M-Z滤波原理的温度传感器,其具有μm量级的尺寸.在M-Z滤波器的一个臂上耦合一个液体微环腔,利用微流控技术将一些温敏液体注入腔内,通过分析传感器的输出光谱,可以检测到温度的变化.实验结果表明,该传感器具有良好的滤波性能及温度分辨能力,消光比>10 dB,3 dB带宽<1 nm,温度检测分辨率可达到0.1℃.此外,通过改变微环中液体的种类,可以调节传感器的温度检测范围.