高性能薄膜热电偶制备及其铣削应用研究

• 作者: 丁万昱 崔云先 杜鹏 殷俊伟 薛生俊
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 高性能 瞬态温度 铣削 退火
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 32-40
• 页数: 9页
• 分类号: TH811
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J2006109

摘要

随着纳米薄膜沉积技术的发展,基于薄膜热电偶的瞬态温度测量技术在多种场合得到广泛应用.为实现薄膜热电偶在铣削加工中的应用,提出了一种高性能薄膜热电偶的制备方法.通过直流脉冲磁控溅射技术在石英基底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶,并于氩气气氛进行不同温度的退火,研究了退火对薄膜热电偶综合性能的影响.结果 表明,500℃退火的功能薄膜均匀性、导电性均有显著的提高,薄膜热电偶的塞贝克系数由退火前的36.3μV/℃增大到最大值40.5 μV/℃,在连续热冲击和高温保持6h后测温性能仍保持良好.将高性能薄膜热电偶研究成果用于测温铣刀的研制,并用于TC4正交铣削,得到了TC4铣削温度预测公式,为旋转类刀具加工温度的测量提供了一种可行性方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁万昱		17	58	5.0	6.0
2	崔云先		19	83	6.0	8.0
3	薛生俊		3	0	0.0	0.0
4	杜鹏		2	0	0.0	0.0
5	殷俊伟		4	7	1.0	2.0