新型飞秒激光等离子激元光刻技术

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 教育
• 关键词: 光刻技术 等离子激元 周期结构 飞秒激光 二维材料 中科院长春光学精密机械与物理研究所 石墨烯 快速制备
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 4-4
• 页数: 1页
• 分类号: G63

摘要

中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究人员,开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术(FPL)。利用该技术,研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备。相关成果发表在《光:科学与应用》上。石墨烯被发现以来,二维材料逐渐进入人们视野,成为材料领域的研究热点。