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摘要:
介绍了一种用于晶硅的智能化加工单元,包括沿着轨道滑动的机械手,以及轨道两侧截断机、开方机、磨抛一体机和置物台,通过数据传输线与控制终端相连接,机械手夹持晶硅依次至截断机进行截断操作、开方机进行去边皮开方、磨抛一体机进行磨削抛光、完成后放置于置物台上,实现晶硅的全自动化转运加工.另对该方案关键技术和工艺路线做了重点说明,以实现该生产单元的自动化程度高、产能稳定、可靠性更好的效果.
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文献信息
篇名 新型截开磨智能化加工单元的研究
来源期刊 精密制造与自动化 学科
关键词 晶硅 截断开方 磨削 生产单元 全自动化
年,卷(期) 2020,(1) 所属期刊栏目 工艺与装备
研究方向 页码范围 54-56,61
页数 4页 分类号
字数 2287字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 段景波 3 0 0.0 0.0
2 解培玉 1 0 0.0 0.0
3 崔陈晨 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
晶硅
截断开方
磨削
生产单元
全自动化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
精密制造与自动化
季刊
1009-962X
31-1858/TP
大16开
上海市军工路1146号
4-374
1965
chi
出版文献量(篇)
1704
总下载数(次)
5
总被引数(次)
6569
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