热解炭涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展

• 作者: 康媛媛 康文杰 张永辉 白鸽 程皓 苏君明 赵杉
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: 炭/炭热场材料 直拉法 热解炭涂层
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 综合论述
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.1
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn1001-8948.2020-02-005

摘要

热解炭涂层技术是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效方法之一,本文介绍了热解炭涂层的制备技术及优缺点,综述了热解炭涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层提出了建议和发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏君明		7	31	2.0	5.0
2	程皓		4	0	0.0	0.0
6	白鸽		2	0	0.0	0.0
7	赵杉		2	0	0.0	0.0
8	康媛媛		2	0	0.0	0.0
9	康文杰		3	0	0.0	0.0
10	张永辉		3	0	0.0	0.0