p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用

• 作者: 李昕欣 王家畴 王珊珊
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型 单面硅微机械加工 p+Si/Au热电堆
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 161-166
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.02.001

摘要

为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性.并利用此模型对一系列器件关键参数进行仿真分析,结合工艺参数得到了一个最优化的器件尺寸.根据这一尺寸制造了一个p+Si/Au热电堆式气体流量传感器以进一步验证一维模型.测试得到的传感器归一化灵敏度为481[mV/(m/s)]/W.此参数比之前的工作高出数倍.此外,测试所得的输出电压曲线与一维模型仿真的曲线一致性也较好,进一步证明了这一一维模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
5	王珊珊	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	29	327	10.0	17.0
9	王家畴	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	7	12	2.0	3.0