篇名 | The Copper Thin Layer Deposition by Pulse Vacuum-Arc Sprayer | ||
来源期刊 | 材料科学与应用期刊(英文) | 学科 | 工学 |
关键词 | VACUUM-ARC PLASMA PLASMA DEPOSITION COPPER Thin Layers MICROHARDNESS | ||
年,卷(期) | clkxyyyqkyw_2020,(3) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 177-183 | |
页数 | 7页 | 分类号 | TG1 |
字数 | 语种 | ||
DOI |