248nm准分子激光旋转加工锥形孔试验

• 作者: 单等玉 康博栋 杨武雄 赵宇 陈涛
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 准分子激光 微孔制造 旋转法
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 激光加工及增材制造
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 3909字
• 语种: 中文

摘要

采用准分子激光对PMMA板进行加工,通过旋转台完成打孔,并探究多项参数对于微孔深度与锥度的影响.研究发现:在一定范围内,当脉动频率和单脉冲能量增加时,微孔的深度线性增加、锥度线性减小;旋转速度对于微孔的深度和锥度无太大影响;采用较大的三角形掩模加工微孔的锥度最佳.通过选择合适的掩模与参数,加工出的微孔比冲孔法效果更佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨武雄	北京工业大学激光工程研究院	34	289	9.0	16.0
2	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
3	赵宇	北京工业大学激光工程研究院	10	6	2.0	2.0
4	单等玉	北京工业大学激光工程研究院	5	0	0.0	0.0
5	康博栋	北京工业大学激光工程研究院	1	0	0.0	0.0